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真空退火炉应急处理方法

  退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电60%。那么你了解真空退火炉应急处理方法吗?

  问题一:

  冷却水泵坏了 ,怎么办?

  1、将冷却水转换到应急自来水供水;

  2、上报设备进行维修。

  问题二:

  氢氮混合气压力为0 ,怎么办?

  1、关闭氢氮混合气输气管阀门,打开氮气输气管阀门;

  2、上报设备进行维修处理;

  3、如长时间无氢氮混合气,停止生产,退火炉降温。

  问题三:

  自来水停水,怎么办?

  处理方法:上报设备维修。

  问题四:

  在真空退火炉生产过程中发生停电时,导致退火炉降温、冷却水泵停止运行,怎么办?

  1、封锁氢氮混合气输气管阀门,打开氮气输气管阀门,将退火炉中的氢气排出;

  2、冷却水转换到应急自来水供水。

  问题五:

  电气故障,怎么办?

  1、退火炉停止生产,降温处理;

  2、上报设备维修。

  江苏邦泰炉业有限公司(原丹阳市嘉恒炉业有限公司)是国内大型工业炉生产基地,集产品研发、制造、销售和服务为一体,是热处理行业协会、中国机械工程学会会员单位,产品广泛应用于机械、冶金、模具、铸造、汽车、军工等各种工业领域,产品远销新加坡、泰国、马来西亚、越南、澳大利亚等国家和香港、台湾地区,是热处理工业炉定点示范单位。


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